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硅烷燃烧装置

不锈钢硅烷燃烧洗涤塔

我公司生产的CRS型不锈钢硅烷燃烧洗涤塔是处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备,主要用于处理太阳能电池生产线行业以及CVD化学气相沉积工艺所产生的废气。本产品具有耐腐蚀性好、机械强度高、净化效率高、安全性可靠、运行成本低、运行噪声低、操作维护方便、结构设计合理等特点。

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技术参数

规格型号CRS-1型CRS-2型CRS-3型CRS-4型
高度 Hmm1980200023002300
直径 Φmm300400600800
进气口径×数量mm×个DN65×1DN65×2DN65×3DN65×4
排气口径×数量mm×个DN65×1DN65×2DN65×3DN65×4
排污口径mmDN150DN150DN150DN150
压缩空气口径mmDN20DN20DN20DN20
压缩空气量L/min250400500600
氮气口径mmDN20DN20DN20DN20
氮气补气量L/min200250250250

产品概述

本产品在结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。在进气方面采用压缩空气加新风进气口双进风形式,提高产品运行效率和可靠性。在喷淋系统方面,采用循环水泵与自动补水相结合的方法,风机采用一用一备形式,这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到极大保证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置,即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作,同时配备了氮气入口,更加大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法,沉积下来的粉尘通过排渣口排出,这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。

不锈钢硅烷燃烧洗涤塔

工作原理

本产品采用优质不锈钢原料进行制造,根据硅烷与空气接触而自燃的特点,使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧,燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室,经过喷雾处理,使废气与中和循环液接触反应,然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气。

产品外形图

产品外形图

流程示意图

流程示意图

控制系统

控制系统及注意事项:

1. 不锈钢硅烷燃烧净化塔必须保证负压200Pa左右。

2. PECVD设备真空泵后面必须加装应急燃烧筒。

3. 不锈钢硅烷燃烧净化塔必须采用新工艺,双风机抽风,一用一备。

4. 风机进风口的电动调节阀必须与风机联动。

5. 风机进风口前必须加装碟阀,以控制硅烷燃烧净化装置内负压。

6. 硅烷燃烧净化装置新风补风口必须加装调节阀。

7. 进气管接口外1~1.5米处必须由可以拆装的连接口,以防清除燃烧箱杂物而可以拆除。

应用领域

处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备,主要用于处理太阳能电池生产线行业以及CVD化学气相沉积工艺所产生的废气。

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